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AFD Inc.株式会社様

クリーンルーム内搬送に対する重量物対応、高クリーン化などの要望に対し、当社は、高性能クリーンロボットを開発。機構部の密閉化による発塵の封じ込めとともに、重量増加への対応を可能にしました。

AFD Inc.株式会社様

2002年のサッカーワールドカップが引き金となり、ブラウン管テレビからPDP(プラズマ・ディスプレイ・パネル)・液晶テレビに買い換える動きが活発となってきました。テレビコマーシャルでも昨今盛んに宣伝もされておりFPD(フラットパネルディスプレイ)は衆目の認知するものとなってきています。
PDP・液晶ディスプレイ(LCD)に代表されるFPD業界は、今後益々発展するであろうこれらのディスプレイに対し、熾烈な開発競争を繰りひろげています。そのような中、業界の先陣を切り数々のノウハウを所有し、蓄積された技術を駆使してディスプレイ用TFT基板の量産宣言を行ったのが、ここでご紹介をするAFD Inc.株式会社様です。
ディスプレイ用TFT基板製造ラインで当社が担当したのは、ハードとしては各種ストッカ・OHS(オーバーヘッドシャトルカー)・AGV(オートマチックガイデッドビークル)です。また、情報系としてこれらの機器を有機的に結び高効率なシステムを実現したAMHS(オートマチックマテリアルハンドリングシステム)を施工しました。

概要

当社が今まで培ってきたクリーン技術及び数々のパネルハンドリング技術を駆使し、かつ効率的で信頼性の高いシステムを実現するために次のシステムを提唱しました。

①ストッカ方式としてはプロセス装置の稼働率向上のため、各ベイエリアにストッカを配置し処理速度の異なる各プロセス装置の作業時間を吸収するために、ベイストッカ方式を提案。

(1)ベイストッカ間を繋ぐ機器として搬送能力の高いOHSを採用し、次工程のベイストッカに対し遅滞なく製品を搬送するシステムとした。

(2)ストッカからベイに設置されている各プロセス装置へは、フレキシビリティのあるAGVで供給する方式を採用。これによりプロセス装置の配置換え等が容易に行える。

(3)これらの機器を無駄なく動かすと同時に、CIM(コンピュータ・インテグレイテッド・マニュファクチャリング)との連携を考慮したAMHSにより各搬送機器の管理を行う。こうしたシステムを有機的に結合することにより、柔軟性に富んだ堅牢なシステムを構築することができました。

カセットストッカ

カセットストッカはサイドフロー方式のクリーンブースで囲んでいます。このカセットストッカのクレーンには当社独自に開発した、重量型スカラー型ロボットが搭載されています。また、クレーンへの電源供給はこれも自社開発した無接触給電装置により行われています。これらの機器の組み合わせにより、発塵は極力抑えることができました。

OHS

この機器も当社が独自に開発したリニアモータを採用した搬送台車です。リニアモータをレール側に定ピッチで配置することにより、台車側には駆動源が全く無いため発塵源は車輪だけとなります。発塵したパーティクルはレール内に設置されているファンフィルターユニットを通して除去したうえで、クリーンな空気だけをクリーンルームにもどします。OHSは搬送能力が高いため、大量のカセットを所定のストッカーに搬送可能です。また台車に駆動源がないため、増産対応も低コストで行うことが可能です。

AGV

AGVは各ベイに複数台運行できるようになっています。当然任意のベイに全てのAGVが入線可能のように設計されています。

AMHS

ホストコンピュータからの指示により各機器を効率よく運行させるシステムとしてAMHSがあります。ガラスの入荷から製品の出荷まで各製造プロセス装置や、バッファに対して効率よく遅滞なくカセットやパネルを自動搬送するシステムを管理しています。本システムの特長として「柔軟な拡張性」「保守の容易性」「信頼性の確保」「データの連携性」などがあげられます。

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